意昂4登录
基础学院真空室系统🪒、真空获得系统💩🦵🏻、真空测量系统等采购项目
招标文件
项目名称🤌🏿🏌🏽♂️：基础学院真空室系统、真空获得系统、
真空测量系统等采购项目
招标方🧑🏼🦳：意昂4登录资保处
2012年4月11日
招标文件
招标项目名称：基础学院真空室系统🐿、真空获得系统、真空测量系统等采购项目
发标时间：2012年4月11日星期三
一、 投标邀请
招标方式：
受用户委托和对采购项目的要求，本职能处室对基础学院真空室系统👍、真空获得系统👳🏿、真空测量系统等采购项目进行公开招标。具体技术参数见附件👨🏿🦰。
兹邀请合格投标人以密封标书的形式前来投标，标书一式二份♔，用单独的信封密封🧑🏼🍼，并在信封上标明投标单位及投标项目名称⛩，为确保标书的时效性和可行性，以专人送达为宜。
1． 投标地点：意昂4登录资保处物资供应意昂4（行政楼B113室）
2． 投标截止时间：2012年4月17日16：30，逾期收到或不符合规定的投标文件不予接受🕺。
3． 开标时间和地点🦹🏽♀️：2012年4月18日💅，采取公开开、评标，地点：校资保处👶。
4． 开、评标结果由资保处具体人员通知投标单位👩🏻🦼➡️。
5． 凡需对本次招标提出咨询的供应商，请在2012年4月17日前与资保处物资供应意昂4联系。
6． 本招标方地址：上海市龙腾路333号 邮编：201620
7． 联系人🪪：高 丹 电话：67791017
具体参数如下：
一 、真空室系统 1套
圆筒型真空室尺寸Ф450mm x350mm，电动上掀盖结构🤠，可内烘烤100～150℃，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封🙇🏿♂️；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1 、RF100法兰接口🧙🏿♀️：1个（观察窗口）；
1.2 ★、RF63法兰接口🌌：1个（观察窗口）🎢；
1.3 🥵、RF10法兰接口：3个（2路进气管路、放气阀）；
1.4 、CF150法兰接口：1个（接分子泵）；
1.5 、CF100法兰接口：3个（磁控溅射靶接口）
1.6 、CF35法兰接口：6个(接电离规管、旁抽口、陶封引线2个、备用2个)🐋；
1.7 、CF25法兰接口⚔️👩🏻🎓：1个（基片挡板）🪅；
1.8 、CF16法兰接口：1个（备用）；
1.9 🪄、ZC16法兰接口：1个(接ZC16热偶规管)🧍🏻♂️；
2 ❇️、磁控溅射靶组件 3套
2.1 🔫、靶材尺寸👭🏻：Φ60mm（其中一个可以溅射磁性材料）；
2.2 、永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容🧑🏻🎄，靶内有水冷；
2.3 、电动控制挡板组件🥍：1套；
2.4 🛣👩🏼🍼、靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染(非共溅时安装使用)；
2.5 、三个靶可共同折向上面的样品意昂4🐏，靶与样品距离90～110mm可调；当直接向上溅射时🧑🦽⚇，靶与样品距离40～80mm可调，并有调位距离指示。
3 、单基片水冷加热台组件 1套
3.1 、基片尺寸：可放置30mm基片♦︎；
3.2 、基片加热最高温度 800°C±1°C，由热电偶闭环反馈控制；
3.3 、取下加热炉可以换上水冷基片台📫；
3.4 、基片可连续回转，转速5～10转/分；
3.5 👳🏻♀️、基片可以加负偏压-200V；
3.6 、手动控制样品挡板组件🧟♂️：1套🏌🏽♂️；
3.7 、样品托：2个；
4 、窗口及法兰接口部件 1套
4.1🤔、RF100玻璃窗口🧑💼👩👧👦：1块🚹；RF63玻璃窗口🍴：1块🥷🏽；
4.2、CF35陶瓷封接引线法兰👨🏼🎤：2个（照明及内烘烤引线）；
4.3、盲法兰CF16🫁：1个⚆；CF35：2个；
5 、工作气路 1套
5.1 👧🏻、200SCCM、100SCCM质量流量控制器（北京）、DG16角阀、进气截止阀、混气室、管路、接头等：共3路
5.2 ⚠️👇🏻、DG16角阀、管路、接头等🕕：1路（解除真空冲氮气）；
二👩🏻🏭、真空获得系统 1套
极限真空度：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率🧌：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
系统从大气开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4 Pa💳；
停泵关机12小时后真空度👏🏿🧚🏻♀️：≤5 Pa；
1.1 👨🏽✈️、复合分子泵及变频控制电源👩🏼🦰：1台（抽速600升/秒🕐，北京）；
1.2 、直联机械泵：1台（抽速8升/秒，上海）；
1.3 👨🏽🏭、KF40电磁隔断放气阀：1台（上海）；
1.4 、分子泵与机械泵软联接金属软管🐉：1套 🈺；
1.5 、机械泵与真空室之间的旁抽管路🍊🤱🏻、电磁截止阀及角阀门🚣🏽♂️👫🏻：1套 ♿️；
1.6 、CF150-B闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）；
2、安装机台架组件 1套
优质方钢型材（50mmX50mmX4mm）焊接成◻️，快卸围板表面喷塑处理👰🏼♂️；机台表面用不锈钢蒙皮装饰🫸🏼；四只脚轮，可固定🤦🏿，可移动；
三、电器控制软硬件系统 1套
1.1 、电源机柜：1台♟；
1.2 🧚♂️、总控制电源：1台（为分子泵、机械泵、电磁阀、升降电机、真空计等提供电源， 有断电保护功能）；
1.3 、水流报警系统：1套（对分子泵、磁控靶有断水报警切断相应电源功能）🫏；
1.4 🕞、样品加热控温电源🙋🏽：1套（日本产控温表，可实现程序控温）🪞；
1.5 、步进电机旋转电源：1套🩷；
1.6 、靶挡板电源🙇♂️：3套；
1.7 、加热烘烤及照明电源：1套；
1.8 🫰🏽、分子泵控制电源：1套；
1.9、500W射频电源😦：1套🏅；（沈阳）
1.10、500W直流电源：2套；
1.11👂🏼、-200V直流偏压电源：1套◼️；
2、配件 1套
2.1 、￠6mm不锈钢管：6m⚇；
2.2 、电动升降装置🥩：1套；
3💧、备件 1套
3.1 👨🏻🏭、无氧铜密封垫圈及管路
CF16：3个；CF35：3个； CF100🙎🏻♂️🧑🏿🔬：2个💂♂️；CF150：2个🤸🏻♀️；
￠6mm卡套：4套；
3.2 、氟橡胶密封圈：￠100mm：1个🔽；￠63mm🙅🏼：1个、动密封胶圈3个🎾；
3.3 、碘钨灯：5个；
3.4 、样品加热丝：1套；
3.5 、￠100mm玻璃：1块；￠63mm玻璃：1块🛅🙆🏽♀️；
3.6 🦶🏼、小型不锈钢标件📡🧝🏽♀️：M3🍖、M4各3个；
3.7 𓀆、电器相关的保险丝：各10个🍊🥨。
4、计算机控制系统 1套
由硬件卡、软件组成（计算机用户自备）；
控制的内容主要有靶挡板🧖🏼、样品自转🏕、样品挡板🛷、样品控温等；
5、工艺
表面化学抛光💭，喷砂处理🙏🏿。
四🦺、真空测量系统 1套
1.1 、宽量程数显真空计（成都）：1套；
热偶规：1路（1.0x105Pa～1.0x10-1Pa）🧒🏼；
电离规：1路（1.0x10-1Pa～1.0x10-5Pa）；
1.2 🚳、200SCCM、100SCCM质量流量显示器：1套；